截至6月23日10:04，中证半导体材料设备主题指数强势上涨2.92%，成分股中晶科技涨停，中科飞测上涨6.30%，拓荆科技上涨5.13%，中微公司，安集科技等个股跟涨。半导体材料ETF（562590）上涨2.85%，盘中一度涨超3%，冲击4连涨。最新价报1.08元。
东方证券认为，国内晶圆制造厂和存储器厂商为保障供应链安全与产能建设节奏，将更有动力并加大力度采购国产替代产品。这不仅体现在成熟制程产能的持续扩张上，更将逐步向先进制程的关键环节渗透。对设备厂商而言，关键半导体制造环节的国产验证与导入机会将显著增多；材料领域，光刻胶、电子特气、湿化学品、靶材、抛光材料等的本土化进程有望提速；而EDA作为芯片设计的基石，其全流程工具链的国产化需求也将变得更加迫切和刚性。
半导体材料ETF（562590）紧密跟踪中证半导体材料设备主题指数，该指数精选40只业务深度覆盖半导体材料与半导体设备领域的上市公司证券作为样本。指数成分股中汇聚了多家在国产替代进程中表现突出的龙头企业——例如在刻蚀设备领域实现技术突破的北方华创、中微公司，以及在硅片、电子化学品等关键材料环节打破海外垄断的沪硅产业、南大光电等，样本股的筛选既聚焦行业核心赛道，充分体现了半导体产业链自主化升级的发展趋势，反映半导体材料和设备上市公司证券的整体表现。
数据显示，截至2025年5月30日，中证半导体材料设备主题指数前十大权重股分别为北方华创、中微公司、沪硅产业、南大光电、华海清科、拓荆科技、长川科技、鼎龙股份、TCL科技、安集科技，前十大权重股合计占比61.33%。
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